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测量项目 | |
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测量项目 | 点、直线、圆、部分圆、椭圆、圆弧处理(圆弧半径、圆心距、圆心到直线的距离、 交点到圆心的距离等)、 高点、 低点、距离、角度处理(坐标夹角、直线夹角)、 直线度、槽深、槽宽、沟边距、沟心距、水平距、凸度(对数曲线)、轮廓度等参数
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测量范围 | |
X轴(横导轨)
| 320mm |
Z1轴(传感器) | 60mm |
Z轴(立柱) | 400mm |
测量精度 | |
X轴(L=X轴导轨移动距离) | ±(1+L/300)μm |
Z1轴(H=Z1轴方向测量高度) | ±(0.8+6H/100) μm |
X轴水平臂 | |
直线度 | 0.15μm/60mm |
光栅分辨率 | 0.1μm |
光栅产地 | 进口 |
Z1轴传感器 | |
分辨率 | 0.1μm |
传感器类型 | 光栅传感器 |
产地 | 进口 |
移动方向 | 前/后 双方向 |
测力 | 0.5-6g |
测针针尖 | 硬质合金 R:0.05mm、0.01mm |
爬坡角度 | 上升77度 下降88度 |
速度 | |
测量速度 | 0.02mm/s,0.05mm/s,0.1mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,4.0mm/s(8个) |
定位速度 | 0.02mm/s,0.05mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,3.0mm/s,4.0mm/s(8个) |
图形放大/缩小 | |
图形放大 | 可任意缩小、放大 |
综合调整台 | |
A型综合调整台 | X轴水平倾斜调整范围:±30°,Y轴方向调整范围:±7.5mm,Z轴回转可调360度(带微调装置) |
B型综合调整台 | X轴水平倾斜调整范围:0-60°,Yθ1:0-1.5度,Zθ1:0-2.5度,Zθ2:0-1.5度 |
安装要求 | |
电源 | 220-240V AC, 50HZ,单独地线; 功率消耗450W |
压缩空气 | 纯净压缩空气:气压0.4MP,消耗0.1m3 /min (气源供给0.6MP,0.25m3 /min以上) |
环境要求 | 工作温度:10°-30°(常温);湿度20-80RH(无结露),良好地线,无明显振源 |