技术规格
技术参数 | 线性精度1 | ±（1.5+|0.2H|）μm |
圆弧2 | ±（2+R/8）μm | |
角度3 | ±2′ | |
直线度4 | 0.8μm/100mm | |
运动控制 | X轴驱动方式 | 电动 |
Z轴驱动方式 | 电动 | |
X轴驱动速度 | 0.1~10mm/s | |
Z轴驱动速度 | 0.5-10mm/s |
注：1、H为水平位置上的测量高度；2、2mm＜R＜10mm的标准球，取样圆弧夹角为120°；3、60°、90°的角度块，角边取样长度为5mm；4、λc为2.5mm，测量速度为≤0.3mm/s；5、2mm＜R＜10mm的标准球，取样圆弧夹角为120°6、以上参数均在20℃±5℃，阶梯温度不超过2℃/h的环境下测得；7、地面震动大RMS
＜50HZ 2.5μm/s /＞50HZ 5.0μm/s。
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