详情

美国Brooks IS320FX低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率大、极限压力低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。
美国Brooks CTI-Cryogenics 智能 On-Board IS 低温泵系统采用创新型低温技术，可以提供的真空性能和能源效率。获得的分布式控制系统监控器及连续可调的低温泵系统独立部件帮助维持系统从而实现在较宽真空范围内都有*的工艺连续性。
On-Board IS 低温泵为您带来长的连续运行时间、产能，同时相对当今现存的其他任何低温泵系统其具有低的购置成本，并提供Brooks服务支持网络的快速响应支持。
美国Brooks IS320FX低温泵的主要特性：
获得的分布式控制系统监控器及连续可调的低温泵系统独立部件帮助维持系统从而实现在较宽真空范围内都有*的工艺连续性
单台泵和多台泵配置的快速再生
低能耗及冷却水消耗却无真空特性损失
系统集成方便
产品安装快捷
增强的远程监控功能可同时预防和预测维护
美国Brooks IS320FX低温泵的结构特点：
立式结构：适于埋装在地下，不会受电动机热风、空气温度和日照等影响，易于保冷；能降低泵的吸上高度，增加灌注头，提高有效汽蚀余量；立式结构还有利于排气，使悬挂轴有足够高度便于布置轴封装置，故该泵也称为立式筒型泵。
对称结构：泵的总体结构力求对称布置，以便在冷态下能均匀变形。冷头一般采用二级机构，级达到80K,第二级达到温度10K。
双层壳体：为了保冷方便和有利于输送危险介质，通常都制成双层壳体，内壳里面承受泵压，内外壳之间是吸入压力，这样可适当降低内壳的强度要求。外壳需做成真空夹层，已达到隔热效果。
在美国Brooks IS320FX低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结，并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。①低温冷凝：气体分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的气体层上，其平衡压力基本上等于冷凝物的蒸气压。抽空气时，冷板温度必须低于 25K；抽氢时，冷板温度更低。低温冷凝抽气冷凝层厚度可达10毫米左右。②美国Brooks IS320FX低温泵低温吸附：气体分子以一个单分子层厚 (  厘米数量级)被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上。吸附的平衡压力比相同温度下的蒸气压力低得多。如在 20K时氢的蒸气压力等于大气压力，用 20K的活性炭吸氢时吸附平衡压力则低于帕。这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。③低温捕集：在抽气温度下不能冷凝的气体分子，被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。